半导体气体质量流量计选型-仁荷微电子科技公司

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如果曲线图不吻合，就必须断定出是被检测流量计出故障还是该雷诺数不是被检测流量计适当的检定系数。该方法通常称之为雷诺内插法，可能适用于诸如涡轮流量计孔板及喷嘴之类的流量计，这些流量计在流量的雷诺数和流量计误差或流出系数之间已形成了相关性。用进行的高压气体流量计的检定不仅于涡轮气体流量计，而且还有孔板式文丘里管式及涡流挡板式流量计。对小型流量计的低气体流量(小于5m3/h检定，诸如热质量流量计质量流量控制器卫生设备用的可变面积和。

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气体质量流量计可以用于控制各种气体，包括腐蚀性气体和特殊气体，但是要注意，对于使用腐蚀性气体和特殊气体，需要恰当选择型号和密封材料。用户在订货时，数字气体质量流量计价格，需要向供货厂商特殊声明使用气体，以免因为选型或选择密封材料错误，国产气体质量流量计选型，造成严重损失。

通常气体质量流量控制器接触工作气体的湿材料为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等，密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。

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（1）流量计应正确安装，合理使用，半导体气体质量流量计选型，以免影响正常运行和计量精度。

（2）安装流量计前用或煤油将表面所涂的防锈油洗干净，并清除管道杂质。流量计前端安装过滤器，以防止铁锈、焊渣等杂质进入计量室，卡死轮造成停转。

（3）气体流量计安装时保持转子轴向水平，无论进出口为垂直或水平，表头处于水平位置。

（4）当气体压力波动范围较大时，辽宁气体质量流量计，为保证计量精度，流量计应安装调压器。

（5）安装流量计时应设置前后阀门和旁通管路，以保证维修保养时，不必停气。

（6）气体流量计安装管路配管和管件尺寸必须适当，不得使流量计本体受不正常的外力。

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