真空管式电阻炉管式气氛电炉加热高温实验处理工艺设备

一、技术指标：
（一）整机技术指标
1、结构型式:单管一体式真空管式炉
2、真空室等温段长度：300mm
3、等温区温度均匀度：≤±5℃
4、高设定温度：1200℃
5、工艺温度：400℃-1100℃
6、炉管直径长度：φ80mm，1200mm
7、工作室材料:高纯石英管
8、控温方式：可控硅移相调压+智能PID调节+程序升降温
9、极限真空度：9.0×10-5pa（冷态空载）
10、工作真空度：＜9.0×10-4pa (@800℃空载)
11、预计空载升温时间：30分钟
12、预计空载降温时间：40分钟
13、供电方式：380,三相 50/60Hz
14、大功率：8kw
（二）石英器件技术指标
1、内壁波纹高度0.2mm，壁厚5mm；
2、整体消除应力，长期使用高温度1100℃；
3、管壁均匀一致，表面及内部不得有划痕、气泡等缺陷；
4、纯度99.99%以上，杂质含量（Al、Fe、Mg、Cu、Ni、Mn、Ti、Na、K、Li、B等十三个杂质元素的总含量≤50×10-6，其中：Fe≤3×10-6 Cu≤0.8×10-6 Na≤2×10-6 K≤2×10-6 Li≤2×10-6 B≤0.3×10-6；
5、羟基含量≤220×10-6；
6、热稳定性：在1000℃下恒温15分钟，置于205℃水中急冷，不出现裂纹、缺口。
7、析晶性能：在100010℃下恒温6小时，析晶层平均厚度不大于100m。
二、设备结构
真空烧结炉主要由石英工作室、设备机架、真空系统、可移动电热炉体、功率变压器、功率调节部件、冷却系统、电气控制系统组成。
1、炉体：结构由炉丝、绝缘子、保温棉、外壳、把口环、等构成。炉体恒温区300mm，总长1 mm,石英管加热全在加热炉膛中，石英管径Ф100mm。采用三段控温技术，（区别于石英管另外还有对应的三点测温），一点超温保护，从而确保恒温区内温度的精度，以及炉体使用的安全。
2、加热原件：发热均匀，加热稳定，寿命长，可参考加热丝采用瑞典KANTHAL，A-1牌号，Ф8mm炉丝，可多年长期工作在1100℃的高温，加热炉丝采用三段控温结构，加热缠绕需确保绕制炉丝时炉丝直径的均匀度。
3、绝缘子：绝缘子的功能是，一方面要保证炉丝匝间间距的均