蚌埠纯钯靶材-沈阳东创【】-纯钯靶材价格

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2022年9月14日
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什么是靶材绑定?靶材绑定的适用范围、流程?

绑定是指用焊料将靶材与背靶焊接起来。主要有三种的方式:压接、钎焊和导电胶。

1.压接:采用压条,一般为了提高接触的良好性,会增加石墨纸、Pb或In皮;

2.钎焊:一般使用软钎料的情况下,要求溅射功率小于20W/cm2,钎料常用In、Sn、In-Sn;我司采用铟焊绑定技术。

3.导电胶:采用的导电胶要耐高温,厚度在0.02-0.05um。














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